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工件台又一次加热硅片,给工件做了一次坚膜,加固已经保留的光刻胶,进一步清除不需要的那部分胶以及其他成分的残留物。 坚膜完成之后,硅片被再次从头开始,开始了第二次的光刻流程,用的还是那块标准掩模。
显影完成后,二次光刻的光刻胶被固化,多余部分被清除,硅片被送到了显微镜下。
刚刚把硅片
《四合院:我边做科研边吃瓜》第523章 咱们工人有力量 正在手打中,请稍等片刻,
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